电子束蒸发

河南大学采购科研设备一批(2019-70)结果公示

一 磁控溅射电子束蒸发复合镀膜系统 80 二 通信与电子信息实验室设备一批 94 四、开、评标信息: 开标时间:2019年8月26日上午10:30 开标地点:河南省公共资源交易...

政府采购信息网

PVD镀膜蒸发镀与溅射镀工艺与区别解读

蒸发镀膜,是将膜料加热蒸发为气相后沉积到衬底表面,此种成膜方式决定了蒸发出的粒子能量只能在 0.1-0.3ev,原子动能太低,填充密度太低。 电子束蒸发的不稳定性...

电子发烧友

中诺新材·电子束蒸发材料

将固体材料置于高真空环境中加热,使之升华或蒸发并沉积在特定衬底上以获得薄膜的工艺方法。 电子束蒸发 将蒸发材料置于水冷坩埚中,利用电子束直接加热使蒸发材料汽化...

北京中诺新材

电子束蒸发与磁控溅射镀铝的性能分析研究

在硅平面晶体管工艺过程中,电极材料的制备技术是一项关键工艺,典型的制备技术主要有两类:一类是电子束蒸发镀膜技术,另一类是磁控溅射镀膜方法。长期以来,在生产实践...

慧聪网

电子束加热蒸发源研制

该电子束加热蒸发源采用超高真空兼容设计(CF35法兰),具有水冷、水冷温度检测、手动挡板、线性进样、高压接口、束流检测等功能。该蒸发源可以对棒状导电材料直接进行...

仪器信息网